Projekte

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Simec

200mm DRAM · 15.370 m² Reinraum

Leistungen
— Grundlegende Planung
— Projektabwicklung
— Genehmigungen Immissionsschutz

Gewerke
— Chemieversorgung
— Chemieentsorgung
— CMP

Dresden · Deutschland · 1994/95
Siemens Microelectronics

200mm DRAM/Logik · 6.988 m² Reinraum

Leistungen
— Fab Design
— Konzeptplanung Prozesssysteme
— Projektabwicklung

Gewerke
— Chemieversorgung
— Chemieentsorgung
— CMP
— Reinstwasser
— Abwasserbehandlung

North Tyneside · Vereinigtes Königreich · 1995/96
White Oak Semiconductor

200mm DRAM · 8.370 m² Reinraum

Leistungen
— Fab Design
— Konzeptplanung Prozesssysteme
— Projektabwicklung

Gewerke
— Chemieversorgung
— Chemieentsorgung
— CMP
— Reinstwasser
— Abwasser
— Grundgase
— Sondergase

Richmond, VA · Vereinigte Staaten · 1996/97